エネルギー分散型X線分光法(EDS)／電子エネルギー損失分光法(EELS)

新規開発の材料・故障解析などには欠かせない解析技術です。
EDS分析は、触媒などに使われる金属微粒子や半導体材料の元素の定量測定、セラミックス焼結体の元素分布マッピング、などに使われます。
また、EELS分析は、EDSに比べて軽元素の感度がよく、エネルギー分解能や空間分解能も高い、元素によっては化学状態分析が可能となります。
よって、半導体材料の状態評価などに有効な分析方法です。