NU-101 反応科学超高圧電子顕微鏡
特徴
- 反応ガス環境におけるその場観察
- 電子状態の分析
- 厚い試料の観察
- 電子線トモグラフィー
- EELS搭載
| 電子銃 | 熱電子放出LaB6 |
|---|---|
| TEM点分解能 | 0.145nm |
| STEM機能 プローブ径 |
有 1.0nm |
| 分析用検出器 | EELS |
| 試料ホルダー | スタンダード(一軸)、二軸傾斜、加熱(一軸・二軸・ワイヤー)、冷却(Liq.N2・Liq.He)、360°軸回転、360°皿回転 ナノインデンター |
通常観察時は試料の回りは超高真空の保持されていますが、ガス環境実験時はガス封印のためリトラクタブル方式のガス導入機構を挿入しガス環境実験を行います。この機構の上下の部分には0.5mmの小さな孔があり、その孔を1000kVに加速された電子が通る差動排気という方式を採用しています。ガス圧力は最大約0.1気圧まで酸素ガスなどを導入することが可能です。
反応科学超高圧電子顕微鏡の観察例
STEM EELS mapping 多変量解析によりスペクトルから各成分のピークを分離し、成分ごとにマッピング
これは超高圧電子顕微鏡で撮影した半導体材料であるシリコン結晶の高分解能像です。
隣り合ったシリコン原子同士は、0.135nm（1nm：1mmの1,000,000分の1）という距離で近接していて、黒い点がシリコン原子を反映し、白く見える部分は原子と原子の間の穴です。このように肉眼では物質が詰まったように見えても、電子顕微鏡で原子の世界をみると、どんな物質でも原子と原子の間には、大きな隙間が存在していることが分かります。ミクロの世界とは本当に不思議なところです。
この写真は窒素ガス雰囲気下での金単結晶の高分解能像で、11,000Pa(約0.1気圧)の窒素ガス雰囲気下でも金の0.2nm
(1nmは1mmの100万分の1)の面間隔の格子縞が撮影できています。
これはラット腎臓由来の培養細胞の染色体を捉えた立体構築像で、二つの重なった染色体と染色体周囲にある細いフィラメント（紡糸体）を捉えることが出来ました。
NU-102 収差補正電子顕微鏡（ARM)
収差補正電子顕微鏡（電界放出冷陰極）
JEM-ARM200F Cold
幅広い材料観察に対し、高空間分解能、高感度元素分析、高エネルギー分解能EELSを用いた観察を可能とし、材料・デバイス分析には欠かせない原子分析に利用されています。
JEM-ARM200Fは照射系球面収差補正装置を搭載した、世界最高のSTEM-HAADF像分解能78pmを有する原子分解能分析電子顕微鏡で、EDSもしくはEELSと兼用すると原子レベルでの元素分析が可能です。
| 電子銃 | 電界放出冷陰極 |
|---|---|
| TEM点分解能 | 0.19nm |
| STEM機能 プローブ径 |
有 <60pm |
| 分析用検出器 | EDS、EELS |
| 試料ホルダー | スタンダード(一軸)、二軸傾斜、EDS用二軸傾斜 |
収差補正電子顕微鏡の観察例
金微粒子の高分解能観察
グラフェン六員環構造の原子レベルの高分解能観察
NU-103 高分解能透過型電子顕微鏡システム JEM-2100F HK
電界放出型電子顕微鏡（加速電圧200kV）で、直接倍率としては、TEM機能で150万倍の高分解能観察が可能です（像撮影用CCDカメラは、高視野用と高倍率用の2台が付属）。また、STEM機能とEDS元素分析装置による元素マッピング機能も付属しています。
| 電子銃 | 電界放出加熱陰極 |
|---|---|
| TEM点分解能 | 0.23nm |
| STEM機能 プローブ径 |
有 1.0nm |
| 分析用検出器 | EDS |
| 試料ホルダー | スタンダード（一軸傾斜）、EDS用一軸傾斜、二軸傾斜、EDS用二軸傾斜、加熱二軸傾斜 |
高分解能透過型電子顕微鏡システムの観察例
鉛フリーハンダ微粒子の STEM像とEDS mapping像
